1844 年，波羅的海德裔俄羅斯科學家卡爾·恩斯特·克勞斯證明戈特弗里德·奧桑制備的化合物含有少量的釕，而這正是克 勞斯同年發現的?？藙谒棺C明氧化釕含有一種新金屬，從不溶于王水的粗鉑部分中得到了6克釕。普通氧化釕的特性使釕成為 一種與制造微電子產品所需的半導體加工技術兼容的金屬。為了繼續微電子的小型化，隨著尺寸的變化需要新材料。
釕薄膜的第三個大規模應用是在銅雙鑲嵌工藝中作為 TaN 和 Cu 之間的結合粘合促進劑和電鍍種子層。 銅可以直接電鍍到釕 上，與氮化鉭相反。銅對 TaN 的粘附也很差，但對 Ru 的粘附很好。釕薄膜在微電子領域有三個主要應用。在實驗室環境中 ，鉑已被用作 RAM 中的電極，但很難形成圖案。釕在化學上與鉑相似，保留了 RAM 的功能，以實現所需的電學性能。
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